THÔNG SỐ KỸ THUẬT
- Phổ kế Ellip quét mô phỏng pha: 190-880nm
- Hệ quan sát cho hình ảnh mẫu theo thời gian thực và đo điểm chính xác .
- Các vi điểm được điều khiển bằng máy tính
- Lựa chọn 8 kích thước điểm khác nhau.
- Tiêu sắc Achromatic xuống đến 35 µm
- Máy đo góc điều khiển bằng máy tính
- Dải góc thay đổi: 35° - 90°
- Cho phép thay đổi góc phổ kế
- Bệ mẫu điều khiển bằng máy tính 200mm x 200mm, 3 trục XYZ
- Lập bản đồ mẫu tự động
- Bộ giữ mẫu vuông 200mm và 2 mẫu tham chiếu
- Điều chính chiều cao Z tự động : 40mm, tự động hội tụ
- Căn chỉnh nghiêng mẫu
- Căn chỉnh mẫu bằng hệ laser
- Nguồn sáng 150 W Xenon
- Hệ đơn sắc đôi, dải UV-Vis
- 190nm – 880nm (ánh sáng lạc < 0.5% tại 190nm)
- Đầu đo PMT đôi, cho độ nhạy và dải động học cao nhất
Khả năng mở rộng vùng NIR đến 2100 nm
- Hệ đơn sắc cho vùng NIR
- 880nm – 2100nm.
- Đầu đo InGaAs
- Phần mềm Delta Psi2
- Thu thập, hiệu chuẩn và xử lý số liệu
- Tự động hiệu chuẩn
Thiết bị phân tích phân cực ellip (ellipsometer) bằng công nghệ quét mang lại hiệu suất cao nhất với thiết kế mới, tích hợp và hoàn toàn tự động. Đây là giải pháp ưu việt đối với mọi thách thức trong việc phân tích màng mỏng (thin film measurement).
-
Hoàn toàn tự động và tích hợp
-
Các linh kiện quang học và điện tử mới giúp thực hiện phép đo nhanh và chính xác.
-
Mô phỏng pha với tần số PEM cao để thu thập dữ liệu nhanh chóng và không cần dịch chuyển linh kiện quang học.
-
8 vi điểm tiêu sắc xuống đến 35 μm
-
Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế
-
Bệ mẫu XYZ lập bản đồ, tự động lấy nét và điều chỉnh độ nghiêng
Hãy là người đầu tiên nhận xét “HORIBA – UVISEL 2”
Sản phẩm tương tự
Hãng sản xuất: HORIBA
Model: QUANG PHỔ PTI QUANTAMASTER™ 8000 Series
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.