HORIBA – UVISEL 2 VUV

Với 5 cấu hình:

Thông số kỹ thuật UVISEL:

• Dải phổ: từ 142 đến 2100 nm │210-880 nm│190-880 nm│245-2100 nm│190-2100 nm│142-2100 nm│
• Đầu thu: Bộ đơn sắc phân giải cao với đầu thu độ nhạy cao

Cấu hình bằng tay

• Kích thước điểm: 0.08 – 0.1 – 1 mm (lỗ ngắm); 50µm FWHM theo yêu cầu
• Bệ mẫu: 150 mm, điều chỉnh chiều cao (4mm) và độ nghiêng bằng tay
• Giác kế: góc điều chỉnh bằng tay từ 55° tới 90° với mỗi bước điều chỉnh là 5°

Cấu hình tự động

• Kích thước điểm điều chỉnh bằng tay hoặc tự động: 0.08 - 0.1 - 1 mm hoặc 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (lỗ ngắm)
• Bệ mẫu tự động: bệ mẫu XY 200x200mm, 300x300 mm XY , điều chỉnh độ cao (4mm) và độ nghiêng bằng tay, bệ mẫu XYZ , bệ mẫu theta
• Giác kế tự động: góc điều chỉnh tự động 40° tới 90° với bước điều chỉnh 0.01°

Giác kế tích hợp

• Góc tới điều chỉnh bằng tay: 35° tới 90° với bước điều chỉnh 5° 
• Giá đỡ mẫu: điều chỉnh độ cao bằng tay 150mm, 20mm
• Có thể tùy chọn hệ thống chuẩn trực tự động để định tuyến mẫu
• Kích thước: chiều rộng: 25cm; chiều cao: 35cm; chiều sâu: 21 cm

Cấu hình tại chỗ

• Sự thích ứng về mặt cơ học: mép bích CF35 hoặc KF40
• Dễ dàng chuyển đổi qua lại giữa cấu hình trong và ngoài

Tùy chọn

• Phụ kiện: cell điều khiển bằng nhiệt độ, cell chứa mẫu lỏng, cell điện hóa, module phản xạ để đo mức phản xạ tại góc tới 0° và 1 số phụ kiện khác
• Phản xạ kế quang phổ: 450-850nm, kích thước điểm 10µm
• Bộ phận quan sát: CCD camera

Hiệu suất

•  Độ chính xác: Ψ= 45°±0.02° and Δ=0°±0.02° được đo tại cấu hình truyền thẳng trong không khí 1.5 – 5 eV
• Độ lặp lại: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001