Với 5 cấu hình:
190nm UVISEL dải mở rộng 2100 nm |
|
245 nm UVISEL NIR 2100 nm |
|
|
210 nm UVISEL VIS 880 nm |
190 nm UVISEL FUV 880 nm |
|
142 nm UVISEL VUV 880 nm |
|
Thông số kỹ thuật UVISEL:
- Dải phổ: từ 142 đến 2100 nm │210-880 nm│190-880 nm│245-2100 nm│190-2100 nm│142-2100 nm│
- Đầu thu: Bộ đơn sắc phân giải cao với đầu thu độ nhạy cao
Cấu hình bằng tay
- Kích thước điểm: 0.08 – 0.1 – 1 mm (lỗ ngắm); 50µm FWHM theo yêu cầu
- Bệ mẫu: 150 mm, điều chỉnh chiều cao (4mm) và độ nghiêng bằng tay
- Giác kế: góc điều chỉnh bằng tay từ 55° tới 90° với mỗi bước điều chỉnh là 5°
Cấu hình tự động
- Kích thước điểm điều chỉnh bằng tay hoặc tự động: 0.08 - 0.1 - 1 mm hoặc 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (lỗ ngắm)
- Bệ mẫu tự động: bệ mẫu XY 200x200mm, 300x300 mm XY , điều chỉnh độ cao (4mm) và độ nghiêng bằng tay, bệ mẫu XYZ , bệ mẫu theta
- Giác kế tự động: góc điều chỉnh tự động 40° tới 90° với bước điều chỉnh 0.01°
Giác kế tích hợp
- Góc tới điều chỉnh bằng tay: 35° tới 90° với bước điều chỉnh 5°
- Giá đỡ mẫu: điều chỉnh độ cao bằng tay 150mm, 20mm
- Có thể tùy chọn hệ thống chuẩn trực tự động để định tuyến mẫu
- Kích thước: chiều rộng: 25cm; chiều cao: 35cm; chiều sâu: 21 cm
Cấu hình tại chỗ
- Sự thích ứng về mặt cơ học: mép bích CF35 hoặc KF40
- Dễ dàng chuyển đổi qua lại giữa cấu hình trong và ngoài
Tùy chọn
- Phụ kiện: cell điều khiển bằng nhiệt độ, cell chứa mẫu lỏng, cell điện hóa, module phản xạ để đo mức phản xạ tại góc tới 0° và 1 số phụ kiện khác
- Phản xạ kế quang phổ: 450-850nm, kích thước điểm 10µm
- Bộ phận quan sát: CCD camera
Hiệu suất
- Độ chính xác: Ψ= 45°±0.02° and Δ=0°±0.02° được đo tại cấu hình truyền thẳng trong không khí 1.5 – 5 eV
- Độ lặp lại: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.