HORIBA – LABRAM NANO

Thân máy và bộ quét SmartSPM​ 

Dải quét: 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)

Loại quét theo mẫu: XY phi tuyến tính 0.05 %; Z phi tuyến tính 0.05 %

Độ nhiễu: 0.1nm RMS trục XY với băng thông 200Hz với cảm biến điện dung bật; 00.02nm RMS trục XY ở băng thông 100Hz với cảm biến điện dung tắt; <0.04nm RMS trục Z ở băng thông 1000Hz với cảm biến điện dung

Tần số cộng hưởng: XY: 7 kHz (không tải); Z: 15 kHz (không tải)

Dịch chuyển X, Y, Z: Điều khiển vòng kín kỹ thuật số cho các trục X, Y, Z; Dải tiếp cận trục Z được cơ giới hóa 18 mm

Kích thước mẫu: Tối đa 40 x 50 mm, độ dày 15 mm

Định vị mẫu: Dải định vị mẫu được cơ giới hóa 5 x 5 mm

Độ phân giải định vị: 1 µm

 

Đầu AFM 

Bước sóng laser: 1300 nm, không ảnh hưởng đến đầu dò của máy quang phổ

Độ nhiễu hệ thống: xuống tới dưới < 0.1 nm

Căn chỉnh cantilever và photodiode hoàn toàn tự động

Tiếp cận đầu đo và bảng điều khiển dễ dàng

 

Các chế độ đo SPM

 AFM tiếp xúc trong không khí /(tùy chọn dung dịch); AFM bán tiếp xúc trong không khí /(tùy chọn dung dịch); AFM không tiếp xúc; Hình ảnh pha; Hiển vi lực ngang (LFM); Điều biến lực; AFM bán dẫn (tùy chọn); Hiển vi lực từ (MFM); Đầu đo Kelvin (Hiển vi thế năng bề mặt, SKM, KPFM);  Hiển vị lực điện và điện dung (EFM); Đo độ cong của lực; Hiển vi lực phản hồi Piezo (PFM); Nanolithography; Nanomanipulation; STM (tùy chọn); Lập bản đồ dòng quang điện (tùy chọn); Các phép đo đặc tính vôn-ampe (tùy chọn)

 

Các chế độ đo phổ

Raman đồng tiêu, huỳnh quang và phát quang và quang phổ

Quang phổ Raman tăng cường trên mũi nhọn (TERS) ở các chế độ AFM, STM và lực cắt

Huỳnh quang tăng cường trên mũi nhọn (TEPL)

Kính hiển vi và quang phổ quét trường gần (NSOM / SNOM)

 

Thiết bị AFM độ dẫn (tùy chọn)

Dòng điện:  100 fA ÷ 10 µA; 3 dải dòng (1 nA, 100 nA và 10 µA) có thể thay đổi từ phần mềm

 

Truy cập quang học

Khả năng sử dụng đồng thời vật kính tiêu sắc phức bên trên và bên cạnh: Lên đến 100x, NA = 0,7 từ phía trên hoặc bên cạnh; Lên đến 20x và 100x đồng thời

Máy quét vật kính piezo vòng kín để căn chỉnh tia laser quang phổ ổn định lâu dài: Phạm vi 20 µm x 20 µm x 15 µm; Độ phân giải: 1 nm

 

Máy quang phổ

Máy quang phổ LabRAM HR Evolution có độ phân giải cao hoàn toàn tự động, có chức năng như kính hiển vi micro Raman độc lập

Dải bước sóng: 50 cm-1 đến 4000 cm-1 hoặc xuống 10 cm-1 với tùy chọn bộ lọc Tần số cực thấp (ULF)

Cách tử: Lựa chọn cách tử từ 150 g/mm đến 3600 g/mm; 2 lưới trên mâm được điều khiển bằng máy tính, được cơ giới hóa và dễ dàng hoán đổi

Thiết kế quang học: Máy quang phổ tiêu sắc và các bộ phận kết nối quang học tiêu sắc

Tự động hóa: cơ giới hóa hoàn toàn, điều khiển bằng phần mềm

 

Phát hiện

Đầy đủ các loại đầu dò CCD và EMCCD và đầu dò hồng ngoại: mảng InGaAs, InGaAs mở rộng kênh đơn, InSb, CdTe, ...

 

Nguồn laser

Bước sóng: Toàn bộ dải bước sóng từ DUV (229 nm) đến IR (lên đến 2,2 µm)

Bước sóng điển hình: 532 nm, 638 nm, 785 nm

Tự động hóa: Chuyển đổi bộ lọc và laser hoàn toàn tự động cho tối đa 3 tia laser đồng thời; Lựa chọn phân cực laser và các tùy chọn máy phân tích phổ cho tất cả các bước sóng

 

Phần mềm

Gói phần mềm tích hợp bao gồm SPM đầy đủ tính năng, máy quang phổ và điều khiển thu thập dữ liệu, bộ phân tích và xử lý dữ liệu quang phổ và SPM, bao gồm so khớp phổ, giải mã và lọc, các mô-đun tùy chọn bao gồm bộ phân tích đơn biến và đa biến (PCA, MCR, HCA, DCA), hạt chức năng phát hiện và tìm kiếm quang phổ.