Thiết bị phân tích phân cực Ellip UVISEL có 4 cấu hình sau:
190nm UVISEL Extended Range 2100 nm |
|
245 nm UVISEL NIR 2100 nm |
|
|
210 nm UVISEL VIS 880 nm |
190 nm UVISEL FUV 880 nm |
|
Thông số kỹ thuật:
- Dải phổ: 190-880 nm │ 210-880 nm │245-2100 nm │ 190-2100 nm
- Hệ phát hiện: Máy đơn sắc độ phân giải cao kết hợp với detector có độ nhạy cao hoặc hệ thống đa bước sóng 32/64 để thu thập dữ liệu nhanh.
Cấu hình bằng tay:
- Kích thước điểm: 0.08 – 0.1 – 1 mm (lỗ ngắm); 50µm FWHM theo yêu cầu
- Bệ mẫu: 150 mm, độ cao điều khiển bằng tay (4mm) và điều chỉnh độ nghiêng
- Giác kế: góc điều chỉnh bằng tay từ 55° tới 90° bằng bước 5°
Cấu hình tự động:
- Kích thước điểm điều chỉnh bằng tay hoặc tự động: 0.08 - 0.1 - 1 mm hoặc 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (lỗ ngắm)
- Bệ mẫu tự động:Bệ mẫu XY 200x200mm, 300x300 mm, độ nghiêng và độ cao điều chỉnh bằng tay (4mm) , bệ mẫu XYZ, bệ theta
- Giác kế tự động: góc tự động điều chỉnh từ 40° tới 90° bằng bước 0.01°
Giác kế tích hợp:
- Góc tới điều chỉnh bằng tay: 35° tới 90° bằng bước 5°
- Gá mẫu: điều chỉnh độ cao trục z bằng tay 150mm, 20mm
- Hệ thống chuẩn trực tự động để định tuyến mẫu (chọn thêm)
- Kích thước: Rộng: 25cm; Cao: 35cm; Sâu: 21 cm
Cấu hình tại chỗ
- Sự thích ứng về mặt cơ học: mép bích CF35 hoặc KF40
- Dễ dàng chuyển đổi giữa cấu hình in-situ và ex-situ
Tùy chọn
- Phụ kiện: cell kiểm soát nhiệt độ, cell đựng chất lỏng, cell điện hóa, module phản xạ để đo phản xạ tại góc tới 0°
- Phản xạ kế quang phổ: 450-850nm, kích thước điểm 10µm
- Quan sát: CCD camera
Hiệu suất:
- Độ chính xác: Ψ= 45°±0.02° và Δ=0°±0.02° được đo trong cấu hình không khí truyền thẳng 1.5 – 5 eV
- Độ lặp lại: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.